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AS4212摩天轮固晶机

我的人间烟火大尺寸高精度固晶机AS4212,角度可调,适应不同尺寸基板,高耐用性,可选配晶圆环自动校正,可选配自动换环组件,提升固晶效率。大尺寸高精度固晶机智选我的人间烟火。

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产品介绍

专利技术   行业首创

超大尺寸:500 x 840


特点:

1.  超大基板尺寸,可实现无缝生产;

2.   多工位固晶,芯片发光层损伤检测;

3.   邦头角度实时校正及压力控制

4.   采用大理石机台具有更高的稳定性;

5.   采用直线电机模组具有更高的耐用性;

6.   具备真空漏晶检测和吸嘴防堵设计;

7.   真空固晶平台和表面平整度修正设计;

8.   高亮自动矫正,采用并联式连线 ;

9.   可选配自动换环组件,提升固晶效率;

7810.jpg


序号

模块

项目

参数

1

系统性能

贴合精度

位置精度:<±15 um

最小角度误差:<2º

生产周期

30K/H@1.0pitch

2

固晶工作台

固晶范围

500 mm * 840 mm(标准)

3

晶圆工作台

晶片大小

3*5 mil ~ 20*20 mil

晶圆环

9个晶圆环/6 寸(标准)

其他尺寸(定制)

4

固晶方式

转塔

6工位旋转固晶

固晶压力

40~250 克(可调)

5

体积

设备尺寸(mm)

L1650* W1830 * H1620


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