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AS3601像素固晶机

三臂交替固晶,提升固晶效率,固晶视觉一次完成RGB三个晶圆拍照定位,减少固晶平台移动次数。

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产品介绍

专利技术  行业首创

定义行业新名词

一次定位 三色固晶

一拍三固,移动路径更短,一致性更好


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自动换环   自动校正 运动飞拍


序号

模块

项目

参数

1

系统性能

贴合精度

位置精度:<±15 um

角度误差:< 3º

生产周期

60ms;  60K/H @1.0 pitch

2

固晶工作台

固晶范围

160 mm * 320 mm

最大基板厚度

12mm

3

晶圆工作台

晶片大小

3*5 mil ~ 20*20 mil

晶圆环

36个晶圆环/6 寸(标准)

其他尺寸(定制)

4

吸晶摆臂

摆臂

180°旋转固晶

固晶压力

20~250 克(可调)

5

体积

机台尺寸(mm)

L1660 * W1200 * H1800 


特点:

1.   双臂交替固晶,提升固晶效率;  

2.   六个晶圆环,可一次装夹实现RGB混打;

3.   支持单机多环和多机多环联合混打功能;

4.   采用大理石机台具有更高的稳定性;  

5.   采用直线电机模组具有更高的耐用性;

6.   具备真空漏晶检测和吸嘴清洗设计;

7.   真空固晶平台和表面平整度修正设计;

8.   并联式连线,实现后进后出自动上下板;

9.   取晶平台可选配晶圆环自动校正;

10.   可选配飞拍、校正,提升固晶效率;

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